CLN DIW自動流量控制
440
製程
馬達
變頻器
107年度
案例編號：107-C01-105-PE02 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
46
(千度)
4
(公秉油當量/年)
25
(公噸/年)
102 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
透過增設馬達變頻器來控制CLN流量的穩定，以改善基板洗淨製程能力穩定效果，除了能節省水的浪費，也透過變頻器的管理，讓pump的運作達到最佳化進而節能。
設計理念或改善流程
改善前：製程用水不穩定，且pump inverter開啟固定功率。
改善後：製程用水穩定，且pump inverter開啟會隨filter life time而變化功率。
效益計算說明：
每台年效益：[(4.19-3kW)×24hr×30day×OEE75%]/2=321.3度/月=3,856度/年。
節省電力：7A共12台，年節電量=46,272度/年=46.27千度/年。
節省費用：46.27千度×2.21元/度=102.26仟元/年。
減少CO2排放量：46.27千度×0.53Kg/度=24.52公噸/年。
