Fine Tune Recipe for Energy Saving
1064
暫態
穩態
109年度
案例編號：109-C04-108-PE08 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
2
(千度)
0
(公秉油當量/年)
1
(公噸/年)
5 仟元/年
1 仟元/年
0.1 年
案例說明
修改製程設備機台參數設定，改善步驟轉換暫態至穩態的能耗、時間
設計理念或改善流程
改善前：
在1片晶圓工作1分鐘條件下，耗電0.3103 kWh
改善後：
在1片晶圓工作1分鐘條件下，耗電0.2178 kWh故修改參數前後可節電0.0925(kwh)
109-C04-108-PE08-01 製程設備機台參數設定改善
