05-2195 研磨機台空氣過濾機節電
104
拋光
研磨機
113年度
案例編號：113-C01-113-PE02 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
425
(千度)
41
(公秉油當量/年)
210
(公噸/年)
1,486 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
1.原廠設備 Setup 時, 拋光單元清潔水流量設定於 5LPM 2.為避免連續作業過程衍生產品異常風險, 在 Chuck table 清潔水流量皆 Follow 原廠設定並每片作業後進行清潔 3.調降清潔水流量至 2LPM, 並確保 Chuck Table 表面仍維持清潔效果
設計理念或改善流程
