標竿案例
05-2195 研磨機台空氣過濾機節電
182
拋光
研磨機
113年度
案例編號：113-C01-113-PE02　｜　行業別：電子零組件製造業　｜　技術別：製程設備(PE)
節省電力
425
(千度)
能源節約量
41
(公秉油當量/年)
減碳量
210
(公噸/年)
節省費用
1,486 仟元/年
投資金額
0 仟元/年
回收年限
0.0 年

案例說明

1.原廠設備 Setup 時, 拋光單元清潔水流量設定於 5LPM 2.為避免連續作業過程衍生產品異常風險, 在 Chuck table 清潔水流量皆 Follow 原廠設定並每片作業後進行清潔 3.調降清潔水流量至 2LPM, 並確保 Chuck Table 表面仍維持清潔效果

設計理念或改善流程

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