案例說明

該廠為實施排氣系統節能最佳化調整，進行以下之措施： 1.洗滌塔填充材清洗保養節能。 2.潔淨室內27台曝光機熱排氣導入RCU回潔淨室再使用，減少新鮮空氣量。 3.網版清洗區鼓風機熱排風影響現場空調改善。 4.檢查製程內各線別的排氣量，將排氣量降低。

設計理念或改善流程

該廠改善狀況如下：

1.訂定塔體壓損>50 mmAq即進行清洗保養，已完成排氣系統塔體清洗保養平均壓損降低至35mmAq以下，以達到風機節能功效。

2.全廠潔淨室內27台曝光機熱排氣(8”)就近導入RCU再回潔淨室使用，以減少潔淨室新鮮空氣量，進而減少新鮮空氣傳輸風機及空調/潔淨處理電能，以達到節能之目的。

3.一般區水平線烘乾段及檯面吸氣用鼓風機共20台，鼓風機熱排風(>60℃)直接排放工作現場，大量熱風影響空調效能，亦造成現場作業人員不適，配管以熱排氣系統將熱風風排除，節省現場空調能源消耗。

4.檢查製程內各線別的排氣量，將排氣量降低，如OSP、水洗線、迴焊爐、清洗機…等將排氣量減少或固定，並控制啟動時才會排氣。