檢討無塵室各區生產型態，取消不必要無塵等級之空間，減少FFU用電
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風機濾網機組(Fan-Filter Unit ,FFU)，無塵室
98年度
案例編號：98-AC-018 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：空調系統(AC)
238
(千度)
23
(公秉油當量/年)
132
(公噸/年)
443 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
降低劣品基板回收機台生產環境等級，取消FFU設置，並進行環境排氣減量。
設計理念或改善流程
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針對環境流場進行改善，將FFU全數關閉移除，並增設一進氣口導入無塵室Air，供劣品基板回收房換氣用。
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針對環境排氣進行減量，將環境負壓控制在10 Pa左右。
