TFT&CF FFU 減量運轉
219
TFT&CF
FFU
104年度
案例編號：104-UT-088 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：公用設備(UT)
387
(千度)
37
(公秉油當量/年)
215
(公噸/年)
914 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
針對FFU覆蓋率縮減 ，執行FFU關閉停止作業，並配合製程驗證，在無影響產品良率下，達到FFU減量目的。
設計理念或改善流程
該廠改善前執行FFU，造成耗能的問題。
1. TFT&CF無塵室白光區、FAB四周走道、濕式製程機台等FFU減量關閉 353台。
2. CF無塵室CNVR機台Cleaner、Developer、Oven段 及檢測區等FFU減量關閉477台。
