TF CVD Process Chamber 加裝隔熱衣
55
溫度
熱損耗
保溫
114年度
案例編號：114-C02-111-PE02 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
527
(千度)
45
(公噸油當量/年)
260
(公噸/年)
1,899 仟元/年
4,992 仟元/年
2.6 年
案例說明
於CHAMBER 四周包覆隔熱衣， 減少溫度逸散。
設計理念或改善流程
1. 改善前：
PROCESS CHAMBER 保溫效果差， 腔體溫度溢散， 須持續高功率維持CHAMBER 溫度設定值。
2. 改善後：
於 CHAMBER 四周包覆隔熱衣， 減少溫度逸散。
