案例說明

該廠為進行節水改善，實施以下之措施： 1.裝置節水設備 – 純水系統內部再利用。 2.裝置節水設備 – 純水系統排放再利用。

設計理念或改善流程

該廠改善狀況如下：

1.MMF (Multimedia Filter，多層砂過濾塔)：MMF 經反洗後，內層濾料變為較蓬鬆，因此系統需進行預濾以壓密濾料，提昇出水水質。起機前的預過濾步驟，會產生部分預濾水，此時預濾水將再回到前端的原水槽再利用，平均回收水量約880 CMD。

2.2B3T (Cation/Anion，陽床/陰床樹脂過濾塔) filter rinse：2B3T 進行再生完成後，需進行後段 rinse 步驟，藉以提昇產水水質，此時的 rinse 水將再回到前端的濾過水槽，平均回收水量約840 CMD。

3.SBP (Strata Bed Polisher，分層樹脂過濾塔)：SBP 進行再生完成後，需進行 rinse 步驟，當rinse後出水水質達到設定標準時，系統才會判斷再生完成，投入主系統運轉，此時的 rinse 水將再回到前端的RO過濾水槽，平均回收水量約60 CMD。 

4.RO (Reverse Osmosis，逆滲透) 濃縮水再利用：RO 濃縮排放水導電度水質約150 μs/cm，因此可作為次級用水水源。將此股水收集到 回收水槽後可供應給次級用水，平均回收水量約1,728 CMD。

5.CP (Cartridge Polisher) ：該廠樹脂在進行更換後，需以超純水進行rinse以降低產水中之TOC(Total Organic Carbon)析出，rinse後之水資源並不外排，而直接回收至超純水系統前段之濾過水槽再利用，此部份水量平均約2 CMD。

6.UF system (Ultra-filter，超過濾器)：UF system 在超純水系統中屬於末段系統，因此UF concentration水質仍然可回到原水桶槽，水量平均約1,596 CMD。

7.MD Vacuum Pump(脫氧膜真空泵) Cooling Water與純水量測儀器排水回收再使用：其因未添加任何藥劑，所以予以收集後回收至超純水系統前段濾過水槽再利用，水量平均約 390 CMD。

8.MMF (Multimedia Filter，多層砂過濾塔) 逆洗廢水：MMF 反洗廢水導入沉澱槽去除水中懸浮微粒後回收至工業水池在供給純水系統使用。平均回收水量約40 CMD。

9.ACF (Activated Carbon Filter，活性碳過濾塔) 逆洗廢水：ACF 反洗廢水導入沉澱槽去除水中懸浮微粒後回收至工業水池在供給純水系統使用。平均回收水量約62 CMD。