案例說明
該廠為進行水資源減量及回收實施以下之措施： 1. DI MMF延長採水時間。 2. AWL RO濃縮水回收至DWS。 3. LSR系統節能改善。 4. 冷凝水回收。 5. 2B3T及DI MB 再生洗淨水回收。 6. Polisher排水回收。
設計理念或改善流程
該廠水資源減量及回收狀況如下：
一.水資源減量部分:
1.1 該廠區DI MMF採水時間延長第一階段由3,840m3延長到4,320m3， 第二階段由4,320m3延長到4,800m3在不影響水質水量的前提下 (Spec PdIA<50KPa、SDI<4.1)可以節省逆洗用電、自來水用量及廢水處理水量。
1.2 DWS Reclaim Tank(廁所沖水用)常因C/T Blow Down回收水不足，造成每日平均須
補充自來水53立方米/天。
AWL Reclaim系統RO濃縮水原排至WWT（廢水廠），另行新增配至DWS Reclaim
Tank，將可減少自來水用量及廢水處理水量。
二.水資源的回收再利用份:
2.1 LSR系統節能改善:
2.1.1 L/S增設暫存水槽提高回收水量。
L/S system每天約有9.2hr進行再生或反洗，回收容量下降=180→130m3/hr，而 L/S排水量=173m3/hr，故每天有394m3排水無法回收而打到廢水場，增設120m3的桶槽，將再生或反洗期間無法回收的水暫存下來，待再生或反洗結束，再慢慢進行回收，每天可多回收104m3。
2.1.2 LSR再生用水改為次級水供應。
LSR 3B3T每日平均需耗用再生水358CMD進行再生步驟所使用，因該股水源主要 提供FAB LOCAL SCROBBER機台使用，無回收至前端DI系統使用，若將該系統 再生水源由原再生水改為MAKE-UP水源供應，以改善再生水不足需以2B3T DI水補充之問題。
2.1.3優化LSR入口水質及擴充管徑增加回收水量。
將回收價值低的入口水分流出來，直接排到廢水廠處理，回收價值高的進入回收系統回收，可改善L/S水質，延長樹脂採水時間由1600提升至1700 m3/c。
L/S回收系統收集FAB L10~L40之機台排水,其R1 PHASE 2區域之排水多採用DAS機台，因添加NaOH，故其排水水質差，回收價值低，故新增分流管線將其部分分流到WWT 處理系統，可提高樹酯採水量。
2.1.4 LSR回收系統運轉參數最佳化。
為減少LSR第3套3B3T起停頻率，以增加回收水量，故進行系統調整，2/1~2/14 未調 整 前回收水量平均3,210 CMD,2/15~3/3陸續確認調整後回收水量平均3,437 CMD, 回收水量增加227 CMD。
a.調降Interim Pump出口流量=190→180m3/hr。
b.打開Reclaim pump to relay tank手閥全開。
c.修改 Relay Tank液位LIA-3001 M=2.3→2.0m。
d.將M-CMP回收系統改切回LSR中間槽處理。
e.調整LSR各處理單元水量略小後方。
目前LSR回收處理量平均3,210CMD,經調整系統後回收量為3,437CMD可增加227CMD(227cmd*365天=82,855 m3/year) 。
2.2冷凝水回收:
CUP棟CDA系統冷凝水原排至現場水溝未回收，將新增配置管路至R1 Make up
Tank使用，將可節省自來水及廢水處理費用。
計算水量為6.5 LPM，約9.4 CMD，可節省自來水用量及廢水廠處理量，節省成本約308 元/d，每年為112仟元。
2.3 2B3T及DI MB 再生洗淨水回收：
純水系統2B3T單元與MB單元執行再生時，進行到Chemical Feeding 1、Displacement 2、Rinse2 時，排放大量(2B3T:159M3/次;MB:43M3/次)廢水至WWT處理，造成廢水運轉成本提高。因此進行管路修改，增加自動閥件進行切換，將洗淨水收集至WWR 回收系統，以減少廢水排放達到回收目的。
2.4 Polisher排水回收：
將Polisher區域水處理設備、儀器排水回收到前處理系統（濾過水槽），可增加回收量及節省自來水及廢水量。
a.Vaccum Pump 水封水回收，經測量每分鐘1 L，每日1.44m3。
b.Cold-A、B 取樣箱Flush排水回收，經測量每分鐘6 L，每日8.64m3。
c.工業原水槽餘氯計及導電度排水回收，每分鐘共2.66L，每日3.83m3。
