案例說明

1.該廠為降低現有設備端Exhaust之使用量，在不影響正常設備製程運轉下進行調降Exhaust使用量286CMM，C/R正壓設定值由 3.2mmaq經多次測試調降至1.2mmaq。 a)外氣空調箱管路及穿牆管路洩漏之防堵及safety damper調整，降低洩漏外氣量。 b)外氣空調箱風車效能提升，軸流式風車改為離心式風車。

設計理念或改善流程

1.該廠經過以上之改善措施，除了OAC外氣空調箱之供氣量，由改善前之

3588CMM降低至3064CMM，共降低524CMM外，並提高風車運轉效率，運轉模式由4run4供應降低為4 run3模式。

2.提升風車性能，不增加用電量：

3.利用QCC的分析手法找出降低外氣使用量的方法─酸鹼性及一般排氣用量管控、OAC箱體及環境洩漏改善及室壓維持量改善，為減少潔淨室外氣使用量的不二法門。因此我們將不必要浪費的Exhaust調小，並找出最大洩漏源，使用防漏措施，最後將潔淨室靜壓調低，以減少外氣使用量。

4.改善因老舊效率降低的軸流式風車，改為效率較高的離心式風車，相同耗電量提供高風量，風車風量由1000CMM→1280CMM，共提升560CMM(280CMM/台，更換2台投資金額300萬)，提升總風量(3100CMM)18%，恢復原始設計 4 RUN 3(N+1)模式運轉，確保系統穩定度。

5.經過以上改善措施,降低OA用量，相對降低冰熱水需求，進而降低冰機負載，減少運轉成本。降低空調箱負載及提高風車效率,運轉由4RUN4改為4 run 3 模式，可節省一台OAC的運轉成本。

6.篩選General熱氣溫度低於28℃以下者直接排放至環境，不經Exhaust管路排放至戶外，可節省OA的供應量。Know How:溫度較低之機台散熱一般(無害)排氣，若使用EG管路排放，是不符合效益的，且低於28℃以下的機台廢熱氣，與環境回風溫度接近，只增加些微DRY COIL之負載，相對於OA產生之所增加之負載甚大；故直接排放至環境,可達到節省能源的效益。

7.機台端Exhaust於設置時未管控使用量，手動風門全開供機台使用不符合需求因此與設備工程師討論依機台特性需求供給,確認Pump出口Exhaust靜壓維持25mmaq 即可符合需求。

8.篩選General熱氣溫度低於28℃以下者直接排放至環境，不經Exhaust管路排放至戶外，可節省OA的供應量。Know How:溫度較低之機台散熱一般(無害)排氣，若使用EG管路排放，是不符合效益的，且低於28℃以下的機台廢熱氣，與環境回風溫度接近，只增加些微DRY COIL之負載，相對於OA產生之所增加之負載甚大；故直接排放至環境,可達到節省能源的效益。

9.機台設備端之Exhaust管路截彎取直，可降低管路壓損,提高供應靜壓，改變以往機台排氣管路配置工法，合理分配各支管負載,避免因局部支管路負載大靜壓不足，而需提高主管路之供氣靜壓，造成排氣浪費。

10.定期清洗因exhaust acid管路中累積之Powder以降低管路內之壓損。

11.再不影響無塵室環境潔淨度的條件下，將C/R室壓由原3.2mmaq調整在1.2mmaq，可減少OA供應量約185CMM。Know How:無塵室靜壓維持量主要是維持潔淨室正壓(相對於無塵室外)，避免無塵室外PARTICL因無塵室負壓進入，影響環境之潔淨度，經測試潔淨室若氣密佳，只需維持微正壓即可，本次改善將SPEC定為1.2±0.5mmaq除可降低OA供應量外，亦可降低外界風壓變化,對無塵室系統控制之影響。