UPW桶槽氮封N2減量
326
超純水
去離子水
節能
101年度
案例編號:101-UT-047 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:公用設備(UT)
節省電力
114
(千度)
能源節約量
11
(公秉油當量/年)
減碳量
63
(公噸/年)
節省費用
370 仟元/年
投資金額
0 仟元/年
回收年限
0.0 年
案例說明
該廠之UPW系統之DI(去離子水)桶槽,當液位下降時會補充氮氣,液位上升時氮氣會排至大氣(消耗) (如圖一) ,因此若降低DI 桶槽之液位上升下降之次數,將可有效減低N2之消耗,故將DI桶槽之液位控制模式,由一段式改成三段式,經實際測試結果,每日降低N2之耗量約1,037Nm3(4,220降至3,223 Nm3) (如圖二)。
設計理念或改善流程
該廠改善狀況如下:
說明:
1)UPW系統之DI(去離子水)桶槽液位下降時會補充氮氣,液位上升時氮氣會排至大氣 (消耗)。
2)將DI桶槽之液位控制模式,由一段式改成三段式,當液位達到L1時,便先啟動一套2B3T產水,達到L2時,啟動第二套2B3T產水,達到L3時,啟動第三套2B3T產水,如此便可減少DI桶槽之液位上升下降之次數,亦即可減少氮封之N2之耗量。