CF Cleaner RB IN 風刀節能
204
調控
參數調整
113年度
案例編號：113-C02-112-PE06 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
316
(千度)
30
(公秉油當量/年)
156
(公噸/年)
859 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
不影響良率狀況下將製程機台CF Cleaner Air Curtain CDA用氣量降低
設計理念或改善流程
評估FCICLN40 RB IN A/C擋水功能與經過測試，確認DIW無流往乾段疑慮
驗證AOI點數,確認不影響產品良率經評估OK後，進行CDA關閉。
驗證AOI點數,確認不影響產品良率經評估OK後，進行CDA關閉。
