• 善用能源管理系統詳實監控分析能源使用情況:從空調系統、空壓氣體系統、照明系統、生產製程區域、公共設施等分析最佳化運轉模式，達成優異節能減碳成果。
• 節能措施全面及創新:空調系統冰機冷媒側添加奈米極化電磁分子，清除管路積碳提升熱交換效率；製程區域轉換區吸塵設備自動啟停設計節能與減噪雙重效果；空壓系統吸附式乾燥機運轉模式最佳化調整並導入新節能技術(永磁變頻式)空壓機，有效節省能源耗用。
• 夏月節電加強推動實質作為:參與台電-非傳統機組即時備轉輔助服務暫行機制，CDA 待機組改夜間盤車，DI系統改夜間再生，降低尖峰用電負載。
• 產品單位耗能逐年下降:22.04kWh/Pad(108年)，20.27kWh/Pad(109年)，17.67kWh/Pad(110年)-研磨墊。
• 企業淨零碳排推動策略:增加能源使用效率，進行高耗能設備管理，採用高效率設備，建置太陽光發電系統，響應再生能源倡議RE100 ，承諾2030使用 60 %再生能源 ，2050年達到100 %碳中和 。

(一)冰水主機系統改善

• 在蒸發器冷媒側添加FRIGAID冷媒添加劑,隨同冷媒添加於系統中，可清除原來附著在熱交換器管內壁之油膜，並在表面形成保護膜，防止微生物附著也避免管路結垢，同時改善熱交換效率。
• 改善後舊冰水主機每單位冷凍噸耗電量平均下降4.22%，預估全年節省電量132千度(110年施行) 。
• 將P1及P4冰水管路連通，每年可以關閉 P1冰水主機210天，只運轉效率更高的P4冰水主機， 也避免低負載時產生的喘振，還可以節省維護費用，預估全年節省電量1,006千度 (111年施行)

P1&P4冰水管路聯通改善

本項措施節能效益(110年)：
節省電力：132千度/年
抑低二氧化碳：66公噸/年
節能效益：32萬元/年

(二) 空壓設備節能改善(導入IE5 永磁變頻式空壓機設備)
導入新節能科技(永磁變頻式)的空壓機取代舊型空壓機。
未更換設備前，空壓系統每日平均耗電量:4,393kWh/Day ;
更換為永磁變頻式空壓機，每日平均耗電量:2,809kWh/Day


節省電力：578千度/年
抑低二氧化碳：290公噸/年
節能效益：141萬元/年

淨零碳排作法及規劃
公司響應再生能源倡議RE100，積極改善產品效能，改善能源使用效率，承諾要在2030使用 60%再生能源；2050年達到100%碳中和。
依循『氣候相關財務揭露(TCFD)』建立相關碳排放量。
與科技部新竹科學園區管理局合作進行ISO 14064-1:2018溫室氣體盤查輔導，並計畫於2022年獲得ISO 14064-1:2018溫室氣體盤查驗證。