1.設有能源管理與查核制度組織，負責全廠整體能源使用規劃、耗能監控與節能實施狀況查核。每月績效會議提報各課使用能源情形，及節能專案執行情形。由每月能源使用紀錄，分析能源使用狀況，確認設備是否操作在最省能狀態。每年定期檢討訂定能源管理、節能計畫等作業。 2.建廠規劃階段節能：全廠主要泵浦/風車均採用變頻設計；辦公室空調採變風量控制VAV節能設計；照明日光燈採用電子式安定器；提高全廠電力系統功率因數。 3.生產運轉階段節能：製程排氣量減量；冷卻水塔水溫控制；冷凍機冰水溫度設定提升；無塵室正壓調降至25Pa；MAU送風再溫熱度調降至14℃；C/R彈性隔間，未投入生產的區域採用隔離板作隔離，同時關閉大部分FFU；VOC排氣系統燃燒機耗油量降低；餐廳空間供應方式改為採時段性供應；二次冰水系統遠端壓差控制。 4.單位晶圓面積之用電量，與同業同類型產品之半導體廠相較相對低，顯現節能成效。認真執行節能工作，對於愛莉颱風桃園地區缺水，生產仍為正常值為同業學習典範。 5.整體節約能源總效益4,101萬元/年，節省電能計2,429萬度/年，節省柴油計21公秉/年；抑低CO2排放總量16,087公噸/年。