●該廠廠務系統應用靈敏度參數分析，有系統的進行節能工作，利用廠務跨系統（冰水系統、CDA系統等）節能曲線，尋求可能之節能空間與最佳設定點。 ●近三年之平均節能率為8.96%，又進行化學品減量，單位生產耗電量、單位生產耗水量均為台灣半導體業最低。 ●回收高濃度氫氟酸，為業界首創先例。積極進行製程源頭節能減廢，2010年共有661件節能減廢提案，近三年來成本節省效益共達到27億元，績效優良。 ●該廠已經把SCADA監視功能提昇至主動管理系統，透過與工研院合作，利用Energy Meter概念，尋求各系統之最佳運轉效率區，發揮程序整合效益。 ●該廠重要之節能成果，包括：自來水儲冷能，與三福公司合作氮氣分離廠節能，冰水系統機組最佳化節能，首創利用冷水塔專屬性能曲線進行自動化節能，首創超純水系統合併運轉節能，成功利用IPA-MBR回收水資源，廢水採用流體化床持續運轉為國內首創。 整體節能績效 節省電力 1,905 萬度/年 降低二氧化碳 19,181 公噸/年 節能效益 23,772 萬元/年