擬定整體節能減碳願景，持續推動節能目標及措施

• 台積公司發揮綠色製造的能量，將綠色管理融入日常營運，舉辦跨組織節能點子競賽，激勵同仁將節能概念導入至生產製程。也將技術研發創新的精神延伸至永續機台的設計上；投入資源與供應商合作，在新世代製程機台開發階段即導入節能機制，預定民國119年累計節電達50 億度的積極目標。

全球第一家於先進製程機台導入節能措施，以提升能源效率

• 建置智慧化管理系統，精準控制以降低待機能耗，並透過汰換低能效元件，促進機台設備耗能最佳化；採行節能措施多元，主要應用於耗能高之製程設備，如：MAU加濕膜板效能提升改造、備機節能模式、冰機水溫控制變溫導入機械學習回歸變溫控制、機台pump改用green pump、關閉機台加熱單元、中央控制系統導入等，提升產能生產效能降低能耗。

• 由原2.3 kW舊型pump改為0.5kW節能pump，共32台。
• 舊型pump 體積大，無變頻功能，製程無論是滿載或是空載,都是維持相同的額定功率運轉。
• 選用節能pump 具有下列優點：
  • 體積小、重量輕，運用較小功率即能維持轉子的轉速並符合製程的抽氣需求。
  • 腔室維持高溫度，讓抽出之氣體維持於氣態狀況，可降低轉子負載。
  • 使用永磁式變頻馬達，功率耗損低，額定效率等級高於 IE4。