純水UPW脫氣膜真空泵節能運轉
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純水UPW
脫氣膜
真空泵
節能運轉
104年度
案例編號:104-UT-099 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:公用設備(UT)
173
(千度)
16
(公秉油當量/年)
96
(公噸/年)
477 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
純水系統因有前段EDI脫氣膜設備,故可測試將UPW-1/2 LOOP後段脫氣膜真空泵關閉,已達節能省電。
設計理念或改善流程
1.將UPW-1/2 LOOP後段脫氣膜真空泵關閉,觀察UPW-1 DO值由2.8 ppb上升至4.3 ppb (SPEC< 30ppb),溶氧值仍正常。
2.UPW-1/2後段脫氣膜真空泵關閉,UPW-1/2供水DO亦可維持在SPEC內。