案例說明

該廠FAB機台大部分皆有裝設Local scrubber先期處理廢氣，Local scrubber所產生的廢水皆為低濃度的含氟廢水，以往直接排放至含氟廢水系統處理，該廠建廠即將此低濃度含氟廢水經過處理後經RO逆滲透系統，將乾淨的水回流給Local scrubber使用。

設計理念或改善流程

該廠將此低濃度含氟廢水經過處理後經RO逆滲透系統，將乾淨的水回流給Local scrubber使用，每日約使用4,000 m³的自來水，這些水能夠省下來，相信對於節能減碳會有很大的幫助，因此該廠使用Local Scrubber Reclaim system產水，做為Local scrubber 供應水。