C5A Fab靜壓調降由20pa至15pa
584
靜壓
節能
空調
110年度
案例編號：110-C03-110-AC02 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：空調系統(AC)
531
(千度)
3
(公秉油當量/年)
270
(公噸/年)
1,168 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
C5A Fab靜壓調降由20pa至15pa ; C5A MAHU 共有5台 供應C5A FAB，調降無塵室正壓值可減少MAHU供應量;藉以達到省電節能功效
設計理念或改善流程
C5A FAB 正壓控制20Pa; 經CFT 各廠專家評估可降至15Pa 控制
C5A MAHU 共有5台 , 同部供應C5A FAB，調降無塵室正壓值可減少MAHU供應量;藉以達到省電節能功效C5A MAHU風量量測約68,000 CMH(m
3
&sup ;/hr)*5台節能效益計算式:
•調降無塵室正壓MAHU風量 68,000 CMH降至62,560CMH 減少MAHU風量5,440 CMH
•減少MAHU風量用電 =5,440(單台風量)*5 台*0.00223 (ECF 製造每單位 MAU 的用電量(kwh/m
3
))=60.6kWh•60.6kWh*24小時=1,454.4 kWh
年可節費=1,454.4kWh*365天(1月~12月)=530,856kWh*2.2元=1167.88仟元
年抑制CO
2
排放量=530,856kWh*0.509kgCO
2
/kWh/1,000 =270.205公噸/年.png)
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110-C03-110-AC02_ C5A Fab靜壓調降由20pa至15pa
