案例說明

ICP10 Shinwa 壓縮機控溫平展修改為 PCW 控溫第一台Demo機. （加裝壓縮機 OFF 開關及管路切換 PCW 循環）

設計理念或改善流程

[ Reason ]
子設備逐項能耗確認Chiller仍是主要造成用電能耗設備，第一階段(PEP3 PEI 60℃Bottom高溫製程)機台節電改善已完成，進入第二階段(PEP2 CP 25℃Bottom常溫製程)之平展導入Demo
[Action ]
1.)製程面之考量àICP PEP2 AS製程僅需控溫 Bottom 25℃(常溫製程)，但廠務PCW約19~20℃，只相差 5℃，需觀察逐步放量觀察驗證其控溫穩定性。
2.) Shinwa壓縮機控溫修改為PCW控溫.（加裝壓縮機OFF開關及管路切換PCW循環）
3.) ICP機台進行Shinwa節能改機導入PEP2，1st Demo在ICP11，IOT上拋EDA製程監控OK後平展。
節能效益計算式:
2019 10/15啟動PCW模式，故重新計算：ICP11改機前平均24.21 A，改機後平均數據6.53 A，作為節能結算如下：
(1)年節電量= 17.68 A x 220V x 1.732 x0.85(功因)x 24 小時 x 365 天 / 1,000 )
= 50,162.55 kWh/單台
(2) 50,162 kWh /單台x 2.22 NT/kWh =111,359 NT/年
年抑制二氧化碳排放量=50,162kWh*0.509二氧化碳/kWh /1,000=25.532公噸/年
投資費用: 2nd Source廠商改造Cost報價 200.7 仟元
[Payback]: 200,700 / 111,359= 1.8年

110-C03-108-PE03_PCW取代壓縮機冷媒熱交換