案例說明

ML5AP2 5B IEX機台SC改LC

設計理念或改善流程

Spin coater
1.耗能
2.容易產生P/T
3.光阻用量高
4.對環境衝擊大(異味、漏液)
5.製程能力有限，無法生產 AHVA產品
因應AHVA高階產品導入
機台製程能力精進，故需要做機構的改造
Linear coater優勢
1.能耗降低
2.P/T大幅改善
3.光阻用量節省
4.環境衝擊低
5.更精進的製程能力
spin coater能耗:
112.4(A)*440(V)*1.732/1,000=85.7kWh
Linear coater能耗:
32(A)*220(V)*1.732/1,000=12.1 kWh
單台省85.7-12.1= 73.6 kWh
單台節電量:
73.6 kWh(節電量)*8,760(年時數)*0.9(uptime)*0.85(功率因數)=493,223kWh
共7台年節電=495,233.5*7台= 3,452,561kWh
抑制二氧化碳排放量：
3,452,561kWh *0.509kg二氧化碳/kWh/1,000= 1,757公噸/年
節省Chemical :以單台計算
Chemical節省費用加總2,628,000+948,508+230,206=3,806,714元
Chemical廢棄處理處理費用76,650+22,575+45,150=144,375元
產品升級: TN→AHVA以單台計算
單panel成品價值提升33美金相當於824(台幣)
成品大玻璃每日生產250片，每片玻璃可切割20片panel
年產值824*250*20= 4,120,000元
效益金額總和:1,094,955+3,806,714+144,375+4,120,000=9,166,044元共7台=64,162,380元
投資費用：每台35,000萬 *7台=24,500萬元
回收年限：3.8年

110-C03-109-PE06_ ML5AP2 5B IEX機台SC改LC