節省電力

868

(千度)

能源節約量

83

(公秉油當量/年)

減碳量

442

(公噸/年)

節省費用

1,085 仟元/年

投資金額

1 仟元/年

回收年限

0.0 年

案例說明

On-Load Clean trigger min time 係指機台FOUP unload 到下一盒FOUP load 的時間, 如超過設定的min time, 則機台Chamber 將執行 On-Load clean recipe. 藉由延長On load Clean trigger min time 由300 second to 600 second,以減少chamber 執行on load clean recipe次數進而達到節能效果. 經統計改善前Chamber 執行on load clean recipe次數及實際量測執行on load clean recipe耗能(KWH), 預期節能0.86M KWH/Y.

設計理念或改善流程

改善前：
On load Clean trigger min time 為 300 second
改善後：
On load Clean trigger min time 改為 600 second每台每天可減少On load Clean次數為13.62次，每次On load Clean 損耗5.458 kWh
109-C04-108-PE02-01 On load Clean trigger min time改善
109-C04-108-PE02-01 On load Clean trigger min time改善