DAS Scrubber 瓦斯用量最佳化
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洗滌器
DAS
瓦斯
98年度
案例編號：98-PE-047 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
0
(千度)
12
(公秉油當量/年)
26
(公噸/年)
244 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
1.該廠將廠內9台Three Chamber 之DAS Scrubber CH4：O2流量設定，由15SLM：30SLM減量為12SLM：24SLM，以降低瓦斯用量。 2.減量後追蹤產品狀況，其狀態正常。
設計理念或改善流程
1.該廠依據DAS Scrubber 運轉及工研院FTIR測試報告，當DAS Scrubber 流量設定(CH4：O2 = 15SLM：30SLM)減量為(CH4：O2 = 12SLM：24SLM)時，其尾氣處理效率變化均在法規可接受之範圍內。
2.考量Risk issue，EA管condition由THM持續monitor靜壓值，此外DAS Scrubber機台設計於 inlet & outlet side均有設置EA管pressure sensors，當EA管condition惡化時，機台可即時偵測到並發出Alarm訊號，故Risk低。
3.瓦斯用量統計：
