案例說明

該廠內特殊氣體供應系統統稱「氣瓶櫃」，部分氣體因其物理特性或者需搭配機台需求特定溫度或壓力供應，設定溫度若是低於室溫者藉由小型冰機來降低鋼瓶溫度&控制蒸發壓力。每座需要控制特定溫度的氣瓶櫃均搭配一套小型冰機（簡稱local chiller）即為一套小型冰水機，需靠壓縮機不斷運轉以維持較室溫低的溫度以符合機台需求之運轉條件(氣體溫度)。而該廠內四處散佈著小型冰機（每座1.5Hp壓縮機）不斷運轉，實際上並不經濟，經過通盤評估後發現溫控溫度若與廠內中央供應系統製程冷卻水相近者可直接轉換使用，可達到極佳的節能省電效果；僅保留溫度設定與製程冷卻水差異超過3℃以上者維持使用local chiller不變。

設計理念或改善流程

該廠之改善狀況如下：

·若原先小型冰機溫度設定與製程冷卻水溫差在+2℃以內者直接轉換為製程冷卻水

1.中央供應效能遠較小型冰機為佳

2.每減少一台小型冰機即可減少7A運轉電力（1.5HP, 120V,單相）

3.減少小型冰機可減少在Fab內產生的熱量，節省無塵室內空調負載。

4.小型冰機關閉不運轉可節省保養耗材及冷煤消耗。

·效益與貢獻：節省壓縮機耗能且降低無塵室內空調負載，形成雙重節能效果。