GED2 Sputter AC Power轉用DC Power節能
19
電系統
DC系統
108年度
案例編號：108-C05-107-PS01 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：電力系統(PS)
566
(千度)
54
(公秉油當量/年)
302
(公噸/年)
1,250 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
Sputter主攻電系統由原有AC系統轉用DC系統，因DC系統成膜速度較快，可結省單用用電時間。
設計理念或改善流程
分析後design-in為DC Power Supply，依照不同膜厚套算，本案AC改造DC Power應用於生產Cu/Al有不同作功單耗差異，如下為計算式。其中，不同膜厚Cu/Al單耗有差異。
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