標竿案例
冰水機系統轉換
529
冰水機
晶圓
節能
111年度
案例編號:111-C03-110-PE08 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:製程設備(PE)
節省電力
300
(千度)
能源節約量
29
(公秉油當量/年)
減碳量
151
(公噸/年)
節省費用
690 仟元/年
投資金額
300 仟元/年
回收年限
0.0

案例說明

現行Wafer saw 冰水製程需求機台區域,設置 3 sets 冰水機,導致該區域之能耗,透過轉換廠務之冰水系統供應冰水製程Wafer saw 30 sets,藉以達節能效果。

設計理念或改善流程

透過廠務之冰水系統供應冰水製程Wafer saw 30 sets,藉以達節能效果。


                                                  111-C03-110-PE08_設計流程

B9 wafer saw 冰水機(RW-7.5RP2TSA) B9_2400_301/304/A01 (3 set)
經計算該設備功率為100,021 kWh/年
年度節電度數:3 sets*100,021 kWh/年=300,063 kWh/年= 300 MWh/年
減碳量:300 *0.502 = 151公噸/年
節約金額:300*2.3元 =690仟元

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