03-設備離子裝置(離子Bar & 離子槍) CDA 減量
108
CDA
離子
113年度
案例編號：113-C01-111-PE01 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
777
(千度)
74
(公秉油當量/年)
385
(公噸/年)
1,907 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
1.設備內離子裝置 CDA 流量未定義, 符合離子消散能力 即可; 平均離子裝置 CDA 流量約 35LPM。 2.調整設備內離子裝置（離子 Bar / 離子槍） CDA 減量 [平均 35LPM 20LPM]確認符合離子消散能力規格。
設計理念或改善流程
