節省電力

1,193

(千度)

能源節約量

114

(公秉油當量/年)

減碳量

607

(公噸/年)

節省費用

2,625 仟元/年

投資金額

0 仟元/年

回收年限

0.0 年

案例說明

1.確認 old /new tool CDA FLOW 使用量的差異.2.調整優化/驗證產品 是否有異常

設計理念或改善流程

1.針對PROCESS STEP去分析CDA FLOW。常開閥件:DRY CLEANER上方6支除靜電器。STAGE下方除靜電槍，頂玻璃時才需開啟CDA FLOW。STAGE破真空:因破真空瞬間CDA FLOW MAX會上升4000L/min(10秒)by機台差異性。調整:破真空壓力&STAGE下方除靜電槍壓力。

2.每日5,642,771-3,039,966=2,602,805L(2602805/1000)*0.1237=322KW

每月:322*30天=9,660kW

3.改善RIE8A0.9A0.AA0.CA0。目標每日用量降到與RIEBA0 3100000 L/min 相當，樣每年省下:2343973060 L，換算下來約: 289,949kw

電費約省下:579,898元 (電費以2.2元計算)

4.因2022產能下修，適度關閉機台進行節能，省下: 1,193,262.7 kW。