ML4A2_A2WMA設備_Tank PCW溫控調整_減少PCW用量節電
591
Tank
PCW
Etch
110年度
案例編號：110-C03-110-PE26 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
14
(千度)
1
(公秉油當量/年)
7
(公噸/年)
32 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
A2WMA設備將Tank 的PCW調降，減少PCW用量以達到節能效益
設計理念或改善流程
WMA10及WMA20設備Etch.1及Etch.2的2個Tank都有PCW(製程冷卻水) 流經Tank內部管路協助控溫
因PCW協助的控溫短且功能較小，所以研擬將Etch.2的Tank PCW關閉，以達節電目的
節能效益計算式:
1年節能效益= (改善前流量-改善後流量）× 機台數 × Min × h /1,000 ×Day ×1.38
14,506.56 (kWh)=(10 – 0)L/min× 2 × 60 × 24 /1,000 × 365 × 1.38
*1M
3
的PCW生產耗電約1.38kWh每年抑制二氧化碳排放量=14,506kWh*0.509二氧化碳/kWh/1,000 =7.384公噸/年
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110-C03-110-PE26_ LL pump安裝節能產生器減少背壓
