節省電力

418

(千度)

能源節約量

40

(公秉油當量/年)

減碳量

213

(公噸/年)

節省費用

928 仟元/年

投資金額

0 仟元/年

回收年限

0.0 年

案例說明

PVD 機台導入 green pump

設計理念或改善流程

PVD 機台導入 green pump, 由原本4.8 kW改成3.4kW
舊型pump 體積大,無變頻功能,無論是製程滿載或是製程空檔,都是維持相同的額定功率運轉.
選用節能pump 具備幾項改良
體積小,重量輕,運用較小功率即能維持轉子的轉速並符合製程的抽氣需求.
腔室維持高溫度,讓抽出之氣體維持於氣態狀況,降低轉子 loading.
使用永磁式變頻馬達,功率耗損低, 額定效率等級高於 IE4
基於上述原因,廠區致力於選用節能pump替換掉原本的舊型pump
利用移動式電錶,測量上機測試的設備是否真實達到節能效益
(4.8kW-3.4kW)*24hr*365天*34台=418,000度
節電：418,000度
二氧化碳減量：0.509(公斤/度)* 418,000度/1,000 = 212.7 公噸
節省支出：418,000度*2.22(元/度)/1,000 = 928 仟元

110-C04-108-PE03_PVD 機台導入green pump