案例說明

該廠針對FAB機台所產生之酸性廢水(AWD)與鹼性廢水(CWD)，P3/4各新增一套AWR/CWR回收系統(酸鹼性廢水回收處理再利用系統)專門處理此兩股廢水。此舉除了可有效降低全廠廢水排放量，同時可增加全廠水回收率，進而減少自來水用量及污水處理費。

設計理念或改善流程

該廠改善狀況如下：

1)AWR/CWR回收系統(酸鹼性廢水回收處理再利用系統)處理流程(如圖一)系利用分流處理方式，將兩股不同性質之廢水(酸性廢水及鹼性廢水)以不同處理單元分別處理，處理後之產水可提供冷卻水塔循環用水及各回收系統再生反洗用水。

2)目前該廠第三期及第四期廠房，AWD/ CWD可回收再處理之廢水量分別為1500CMD及   400CMD，以系統產水率設計為85%，經處理後之再利用水回收量為589,475 公噸/年。